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在机械加工领域,遇到特殊精度要求高的零件加工称为超精密加工。超精密零件加工主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等设备。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。如加工医疗设备配件直径为800毫米的非球面反射镜,最高精度可达0.1微米,表面粗糙度为Rz0.05微米。
超精密零件加工过程中,一般加工精度以纳米,甚至最终以原子单位(原子晶格距离为0.1~0.2纳米)为目标时,超精密零件切削加工方法已不能适应,需要借助特种精密零件加工的方法,即应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量超越原子间的结合能,从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形,以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
超精密零件加工主要特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密零件加工精度,仍有赖于精密加工设备和精确的控制系统,并采用超精密掩膜作中介物。如电子行业集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)进行曝射,使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解),再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉,制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
所谓高等的品质,源于精湛的技术。高品质离不开优质的技术,也离不开精密加工设备与合理的加工工艺。以上是鸿海机械浅谈超精密加工工艺理念,感谢分享!如有对精密机械零件加工或超精密零件加工技术咨询,请致电鸿海机械,我们是一家专业从事精密机械零件加工,CNC加工厂家,我们将竭诚为您提供服务!
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